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激光干涉测速仪有两个主流类型

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  激光干涉测量是实现超精密测控和微纳尺度测量的有效手段之一。激光干涉测速仪基于光学多普勒效应,全部采用单模光纤传输光信号,利用光学干涉混频技术获得物体的连续速度信息,整个系统采用全光纤连接,不仅提高系统的稳定性、减小体积,而且由于采用高性能的单模光纤,使系统的响应时间不再受限于光纤色散,可实现50ps量级时间分辨率的速度测量。
  具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、测速下分辨率高等优点,结合不同的光学镜组,可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在动态测量软件配合下,可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测,以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析,如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。
  激光干涉测速仪有很多应用,但本质都是测量中学课本讲的“位移”,诸多应用都是“位移”的延伸和转化。有两个主流类型:单频激光和双频激光。
  单频能做的双频激光干涉仪都能做,但双频能做的单频不见得能做。由于历史、技术和商业原因,两种测速仪都有着广泛应用,但在光刻机上,双频激光市场更大。
  单频不需要对市场上的氦氖激光器进行改造,直接可用。但双频激光用的激光器需要附加技术使其产生双频(两个频率)。双频激光测量位移的速度不及单频激光,自从发明了双折射-塞曼双频激光器,双频激光的测量速度也达到每秒几米,与单频激光器看齐了。
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